B1500A Agilent Semiconductor Device Parameter Analyzer / Mainframe del sistema di caratterizzazione dei semiconduttori
L'analizzatore di dispositivi a semiconduttore Keysight B1500A (Agilent) è uno strumento modulare con una configurazione a dieci slot che supporta sia misurazioni IV che CV e anche impulsi veloci ad alta tensione.
- introduzione al prodotto
Panoramica e caratteristiche
L'analizzatore di dispositivi a semiconduttore Keysight B1500A (Agilent) è uno strumento modulare con una configurazione a dieci slot che supporta sia misurazioni IV che CV e anche impulsi veloci ad alta tensione. La sua familiare interfaccia utente Microsoft ® Windows ® supporta il software EasyEXPERT di Agilent, che fornisce un approccio nuovo, più intuitivo e orientato alle attività per la caratterizzazione del dispositivo. Grazie alle sue capacità di misurazione della capacità integrate e a corrente estremamente bassa, bassa tensione, Keysight B1500A (Agilent) può essere utilizzato per un'ampia gamma di esigenze di caratterizzazione di dispositivi a semiconduttore (IC-CAP supporta B1500A). È anche un'ottima soluzione per la caratterizzazione di celle di memoria non volatile e la caratterizzazione di dispositivi ad alta velocità (compresa la misurazione NBTI avanzata).
Le caratteristiche e i vantaggi di Keysight B1500A (Agilent) includono:
● Prestazioni di misurazione IV superiori: risoluzione di misurazione {{0}}.1 fA / 0,5 µV
● Le funzioni di misurazione includono sweep singolo e multicanale, campionamento temporale, sweep elenco, CV quasi statico (utilizzando le SMU), controllo diretto e GUI per la generazione di forme d'onda lineari arbitrarie (ALWG) per HV-SPGU.
● Il modulo capacitivo integrato opzionale supporta misurazioni CV fino a 5 MHz
● Soluzioni di commutazione CV-IV basate su posizionatore opzionali disponibili con risoluzione di misurazione della tensione 0.5 µV e risoluzione di misurazione della corrente di 10 fA, 1 fA o 0,1 fA
● Facile automazione dei test con driver wafer prober semiautomatici integrati e sequenziamento dei test senza programmazione tramite la modalità Quick Test
● Unità generatore di impulsi a semiconduttore ad alta tensione opzionale (HV-SPGU) disponibile con larghezze di impulso programmabili di 10 ns e uscita più /- 40 V (80 V picco-picco).
● Generatore di forme d'onda/unità di misurazione rapida (WGFMU) opzionale disponibile con ALWG e capacità di misurazione rapida di corrente o tensione.
● È disponibile una soluzione IV pulsata da 10 ns per la caratterizzazione di transistor dielettrici di gate e SOI (silicio su isolante) ad alto k.
● È disponibile una modalità di test classica per fornire l'aspetto, la sensazione e la terminologia dell'interfaccia 4155/4156 migliorando al contempo l'interazione dell'utente sfruttando appieno le funzionalità della GUI di Microsoft ® Windows ®
Le specifiche principali dell'analizzatore di dispositivi a semiconduttore Keysight B1500A (Agilent) includono:
● Caratteristiche generali
o Strumento basato su PC con sistema operativo Windows ® XP Professional
o Soluzione single-box per misure di corrente-tensione (IV), capacità-tensione (CV), generazione di impulsi, IV veloce e nel dominio del tempo.
o Dieci slot per moduli per unità di monitoraggio sorgente (SMU) e altri tipi di moduli (MFCMU, HV-SPGU e WGFMU) *
o Analisi dei dati offline e sviluppo di test applicativi tramite il software Desktop EasyEXPERT
● Capacità di misurazione
o Supporta la misurazione corrente-tensione (IV) a 0.1fA e 0.5µV
o Supporta la misurazione della tensione di capacità (CV) sia quasi statica che a media frequenza]
o Supporta misurazioni rapide accurate IV e nel dominio del tempo per un'ampia gamma di applicazioni come la misurazione IV pulsata, NBTI e RTS.
o Supporta la generazione di impulsi ad alta tensione (fino a ±40 V) per il test di dispositivi di memoria e ad alta potenza.
Guida alla selezione del modulo:
|
Modulo Principale |
Slot |
Specifica |
|
B1510A HPSM |
2 |
Fino a 200V, forza 1A. Risoluzione corrente 10fA |
|
B1511A MPSM |
1 |
Fino a 100 V, forza 100 mA, risoluzione corrente 10 fA |
|
B1517A HRSMU |
1 |
Fino a 100 V, forza 100 mA, risoluzione corrente 1 fA |
|
E5288ASU |
N / A |
Fino a 100V, forza 100mA, risoluzione corrente 100aA |
|
B1520A MFCMU |
1 |
Da 1 kHz a 5 MHz, polarizzazione fino a 100 V CC con SMU |
|
B1525A HV-SPGU |
1 |
Ampiezza d'impulso minima 12,5 ns, tempo di transizione 10 ns, fino a 40 V con pu a 3 livelli |
|
B1530A WGFMU |
1 |
Ampiezza impulso minima 100 ns, uscita picco-picco 10 V, velocità di campionamento misurazione corrente o tensione 5 ns |
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